原裝愛德華GV80/QDP80干式真空泵消音器

原裝愛德華爪式真空泵消音器訂貨號A52819000，適用型號（GV80、CDP80、CDP40、

QDP80），排氣消聲器衰減來自泵的排氣壓力中的脈沖，并減少排氣系統(tǒng)中泵引起的共振。

排氣消聲器適用于半導體應用中常用的所有腐蝕性氣體和部分揮發(fā)性氣體，其設計便于維護。

排氣消音器的安裝必須由經(jīng)過適當培訓和監(jiān)督的技術人員進行，當你安裝排氣消聲器時，尤其是當你

連接到一個現(xiàn)有的系統(tǒng)時，遵守下面列出的安全程序。具體的安全預防措施的細節(jié)在說明書中的適當

位置給出。

EDWARDS GV Drystar泵能夠處理大是粉塵和水蒸汽，在保持高可重復性、高性能和高可靠性的同時

不會帶來制程污染的風險。Drystar真空泵可以與Edwards EH系列機械增壓泵結(jié)合以提高泵送性能。

功能和優(yōu)勢

可靠耐用的韌性鐵構(gòu)造。

具有重復泵送能力。

能夠控制泵溫。

優(yōu)異的灰塵和蒸汽處理能力。

具有一勞永逸的性能。

使用現(xiàn)有過濾器可以很好的處理灰塵。

降低了噪音和振動。

排放的煙霧中不含油。

無需進行油回收，排放區(qū)域環(huán)境清潔。

延長了正常動行時間。

節(jié)省維護成本。

可連續(xù)在大氣壓下泵送，對泵無有害影響。

 原裝愛德華GV80/QDP80干式真空泵消音器